жартылай өткізгіш газ сүзгілері

жартылай өткізгіш газ сүзгілері

Үздік және кәсіби жартылай өткізгіш газ сүзгілері зауыты

HENGKO - жетекші және кәсіби жартылай өткізгіш газ сүзгі өндірушісі, біз кең ауқымды ұсынамыз

әртүрлі жартылай өткізгіштердің талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген сүзгілердің ауқымы

өндірістік процестерді қамтидыIGS газ толтырғышы, газ диффузоры,жоғары қысымды және жоғары таза газ

сүзгі, кірістірілген газ сүзгісі, вакуумдық жүйе газ сүзгілері және құралды қорғауға арналған арнайы газ сүзгісі.

 

Дәл инженерлік және жоғары сапалы материалдармен,HENGKO сүзгілері максималды қамтамасыз етеді

тиімділік пен сенімділік, бұл оларды сын үшін өте қолайлы етедіжартылай өткізгіштер өндірісіндегі қолдану».

 

Әрине, біз де жеткіземізOEM қызметісияқты ерекше талаптар үшінкеуектер мөлшерікүйдірілген металл сүзгіден,

қосқыш, Газ сүзгісінің сыртқы түрі мен құрылымы, бізге электрондық пошта арқылы хабарласуға қош келдіңізka@hengko.com

біз 24 сағат ішінде тезірек қайтарамыз.

 

icone hengko бізге хабарласыңыз

 

 

 

 

 

 

Неліктен жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде газ сүзгілерін пайдалану керек? 

Газ сүзгілері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде бірнеше маңызды себептерге байланысты маңызды:

1. Ластануды жою

Жартылай өткізгішті жасау көптеген сезімтал процестерді қамтиды, мұнда тіпті ең кішкентай ластаушы заттар,

шаң бөлшектері, ылғал немесе химиялық қалдықтар сияқты зиянды әсер етуі мүмкін. Газ сүзгілері жойылады

қоршаған ортаның тазалығын қамтамасыз ететін технологиялық газдардағы бөлшектер, қоспалар және ауадағы ластаушы заттар

және жартылай өткізгіш пластинкалардың тұтастығын сақтау.

2. Өте тазалық стандарттарын сақтау

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі пайдаланылған газдарда өте жоғары тазалықты қажет етеді, өйткені қоспалар болуы мүмкін

жартылай өткізгіш құрылғылардың ақауларына әкеледі. Газ сүзгілері ультра таза газ сапасына қол жеткізуге көмектеседі

ластану және өнімдердің консистенциясы мен сенімділігін қамтамасыз ету.

3. Қорғау жабдығы

Газдардағы ластаушы заттар жартылай өткізгіш пластинкаларға ғана емес, сонымен қатар сезімталға да зиян тигізуі мүмкін

химиялық буларды тұндыру (CVD) реакторлары сияқты өндіріс процесінде қолданылатын жабдық және

ою жүйелері. Газ сүзгілері бұл қымбат машиналарды зақымданудан қорғайды, бұл тәуекелді азайтады

тоқтап қалу және қымбат жөндеу.

4. Шығымды жоғалтудың алдын алу

Шығымдылық жартылай өткізгіштерді өндіруде өте маңызды, мұнда ақаулар өндірісте айтарлықтай шығынға әкелуі мүмкін.

Тіпті бір бөлшек немесе химиялық қоспалар өнімділік пен кірістілікке әсер етіп, өнімділіктің жоғалуына әкелуі мүмкін.

Газ сүзгілері технологиялық газдардың таза болуын қамтамасыз етеді, ластануды азайтады және өнімділік жоғалуын азайтады.

5. Өнім сапасын қамтамасыз ету

Жартылай өткізгіштерді өндіруде бірізділік пен сапа маңызды. Ластанған газдар тудыруы мүмкін

сенімсіз жартылай өткізгіш құрылғыларға әкелетін сәйкессіздіктер. Газ сүзгілерін пайдалану арқылы өндірушілер мүмкін

әрбір топтаманың талап етілетін қатаң сапа стандарттарына сәйкес келетініне кепілдік береді, бұл құрылғының жоғарылауына әкеледі

өнімділік пен ұзақ өмір сүру.

6. Тоқтау уақытын қысқарту

Технологиялық газдардағы ластаушы заттар техникалық қызмет көрсетуді немесе ауыстыруды қажет ететін жабдықтың істен шығуына әкелуі мүмкін.

Газ сүзгілерін пайдалану арқылы өндірушілер күтпеген тоқтау уақытын азайта алады, жұмыс тиімділігін сақтай алады және

маңызды жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту.

7. Химиялық үйлесімділік

Жартылай өткізгіш процестерде қолданылатын көптеген газдар жоғары реактивті немесе коррозияға ұшырайды. Газ сүзгілері

қамтамасыз ету, қоспаларды тиімді сүзу кезінде осы қатал химиялық ортаға төтеп беруге арналған

қауіпсіз және тиімді өңдеу.

 

Жалпы, газ сүзгілері жартылай өткізгіштің тазалығын, сенімділігін және қауіпсіздігін сақтау үшін өте маңызды.

жоғары сапалы, ақаусыз жартылай өткізгіш өнімдерге қол жеткізуге көмектесетін өндірістік процесс

бағалы жабдықтарды да қорғайды.

 

 

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі газ сүзгілерінің түрлері

Жартылай өткізгішті өндіру процесінде әртүрлі мәселелерді шешу үшін әртүрлі типтегі газ сүзгілері қолданылады

газдың тазалығы мен жабдықты қорғауға байланысты кезеңдері мен қиындықтары.

Жиі қолданылатын газ сүзгілерінің түрлеріне мыналар жатады:

1. Бөлшектер сүзгілері

*Мақсат: Технологиялық газдардан бөлшектерді, шаңды және басқа қатты ластаушы заттарды кетіру.

*Қолдану: Көбінесе пластиналарды, технологиялық камераларды және жабдықты бөлшектердің ластануынан қорғау үшін әртүрлі кезеңдерде орнатылады.

*Материалдар: Әдетте агломерленген тот баспайтын болаттан, PTFE немесе төзімділік пен химиялық үйлесімділікті қамтамасыз ететін басқа материалдардан жасалған.

2. Молекулалық немесе химиялық сүзгілер (алғыш сүзгілер)

*Мақсат: Технологиялық газдарда болуы мүмкін ылғал, оттегі немесе органикалық қосылыстар сияқты арнайы молекулалық ластаушы заттарды жою үшін.

*Қолдану: Жоғары таза газ қажет болғанда, мысалы, тұндыру немесе өңдеу процестері кезінде пайдаланылады.

*Материалдар: Көбінесе белсендірілген көмір, цеолит немесе молекулалық қоспаларды ұстау үшін арнайы әзірленген басқа адсорбент материалдары арқылы жасалады.

3. Жоғары таза газ сүзгілері

*Мақсат: Аз ғана қоспа өнім сапасына әсер ететін жартылай өткізгіш процестер үшін өте маңызды өте жоғары тазалық (UHP) газ стандарттарына қол жеткізу.

*Қолдану: Бұл сүзгілер қоспалар елеулі ақауларды тудыруы мүмкін химиялық булардың тұндыру (CVD) және плазмалық өңдеу сияқты процестерде қолданылады.

*Материалдар: Жоғары қысымда және төтенше жағдайларда тұтастығын сақтау үшін арнайы мембраналары бар тот баспайтын болаттан жасалған.

4. Көлемді газ сүзгілері

*Мақсат: Газдарды кіру нүктесінде немесе өндірістік желілерге таратпас бұрын тазарту үшін.

*Қолдану: Жеке құралдарға немесе реакторларға жеткізілмес бұрын, үйіндідегі газдарды сүзу үшін газ жеткізу жүйесінде жоғары ағынға орналастырылған.

*Материалдар: Бұл сүзгілердің үлкен көлемдегі газдарды өңдеуге арналған сыйымдылығы жиі болады.

5. Пайдалану нүктесі (POU) газ сүзгілері

*Мақсат: Әрбір нақты өңдеу құралына жеткізілетін газдардың кез келген ластаушы заттардың болмауын қамтамасыз ету.

*Қолдану: Газдарды өңдеу немесе тұндыру камералары сияқты технологиялық жабдыққа енгізер алдында орнатылады.

*Материалдар: Агломерленген металл немесе PTFE сияқты жартылай өткізгіш процестерде қолданылатын реактивті газдармен үйлесімді материалдардан жасалған.

6. Кірістірілген газ сүзгілері

*Мақсат: Тарату жүйесі арқылы қозғалатын газдар үшін кірістірілген фильтрацияны қамтамасыз ету.

*Қолдану: Жүйе бойынша үздіксіз сүзуді қамтамасыз ететін негізгі нүктелердегі газ желілерінің ішінде орнатылады.

*Материалдар: Газдармен химиялық үйлесімділікті қамтамасыз ету үшін агломерленген тот баспайтын болат немесе никель.

7. Жер үсті газ сүзгілері

*Мақсат: Бөлшектерді және молекулалық ластаушы заттарды кетіру үшін газ панелінің құрамдастарына тікелей орнатылады.

*Қолдану: Тар кеңістіктерде жиі кездесетін бұл сүзгілер маңызды қолданбаларда тиімді пайдалану нүктесінде сүзуді қамтамасыз етеді.

*Материалдар: Төзімділік пен жартылай өткізгішті өндіруші газдармен үйлесімділік үшін жоғары таза тот баспайтын болат.

8. Суб-микрондық сүзгілер

*Мақсат: Жартылай өткізгіш процестерде әлі де елеулі ақауларды тудыруы мүмкін өте кішкентай бөлшектерді, көбінесе шағын микрон өлшемдерін сүзу үшін.

*Қолдану: Фотолитография сияқты өте таза газбен қамтамасыз ету үшін сүзудің ең жоғары деңгейін талап ететін процестерде қолданылады.

*Материалдар: Ең кішкентай бөлшектерді де тиімді ұстай алатын жоғары тығыздықтағы агломерацияланған металл немесе керамикалық материалдар.

9. Белсендірілген көмір сүзгілері

*Мақсат: Органикалық ластаушы заттар мен ұшатын газдарды кетіру үшін.

*Қолдану: Вафельді ластануды немесе реакцияның бұзылуын болдырмау үшін газ тәрізді қоспаларды жою қажет болатын қолданбаларда қолданылады.

*Материалдар: Органикалық молекулаларды адсорбциялауға арналған белсендірілген көмір материалдары.

10.Агломерленген металл газ сүзгілері

*Мақсат: Құрылымдық беріктік пен жоғары қысымға төзімділікті ұсына отырып, бөлшектер мен қоспаларды тиімді жою.

*Қолдану: Күшті сүзгілеу қажет болатын жартылай өткізгіш процестің бірнеше кезеңдерінде кеңінен қолданылады.

*Материалдар: Әдетте қатал орта мен химиялық заттарға төтеп беру үшін агломерленген тот баспайтын болаттан немесе басқа металл қорытпаларынан жасалған.

11.Гидрофобты газ сүзгілері

*Мақсат: Ылғалдың немесе су буының газ ағынына түсуіне жол бермеу, бұл ылғалдың біркелкі мөлшеріне сезімтал кейбір процестерде өте маңызды.

*Қолдану: Вафельді кептіру немесе плазмалық оюлау сияқты процестерде жиі пайдаланылады.

*Материалдар: PTFE сияқты гидрофобты мембраналар, газдар ылғалдың ластанбауын қамтамасыз етеді.

Газ сүзгілерінің бұл әртүрлі түрлері олардың ерекше қасиеттеріне, материалдың үйлесімділігіне және жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінің бірегей жағдайларына жарамдылығына қарай мұқият таңдалады. Сүзгілердің дұрыс үйлесуі газ тазалығының ең жоғары деңгейін сақтау, процестің тұрақтылығын қамтамасыз ету және жартылай өткізгіш құрылғылардағы ақаулардың алдын алу үшін өте маңызды.

 

 

Жартылай өткізгішті газ сүзгілері туралы кейбір жиі қойылатын сұрақтар

 

Жиі қойылатын сұрақтар 1:

Жартылай өткізгішті газ сүзгілері дегеніміз не және олар неліктен маңызды?

Жартылай өткізгішті газ сүзгілері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде маңызды компоненттер болып табылады.

Олар технологиялық газдардан қоспалар мен ластаушы заттарды кетіруге арналған, мысалыоттегі,

азот, сутегі және әртүрлі химиялық газдар.

Бұл қоспалар жартылай өткізгіш құрылғылардың сапасына, өнімділігіне және сенімділігіне айтарлықтай әсер етуі мүмкін.

Газ ағындарын тиімді сүзу арқылы жартылай өткізгіш газ сүзгілері мыналарға көмектеседі:

1. Жоғары тазалықты сақтау:

Өндіріс процесінде пайдаланылатын газдарда құрылғының өнімділігін төмендететін ластаушы заттар жоқ екеніне көз жеткізіңіз.

2. Жабдықтың зақымдалуын болдырмау:

Сезімтал жартылай өткізгішті жабдықты бөлшектер мен химиялық ластанудан қорғаңыз, бұл қымбат тұратын тоқтап қалуға және жөндеуге әкелуі мүмкін.

3. Өнімнің шығымдылығын арттыру:

Өндіріс шығымының жоғарылауына әкелетін газ қоспаларынан туындаған ақаулар мен ақауларды азайтыңыз.

4. Құрылғының сенімділігін арттыру:

Ластанумен байланысты мәселелерге байланысты жартылай өткізгіш құрылғылардың ұзақ мерзімді тозуын азайтыңыз.

 

Жиі қойылатын сұрақтар 2:

Жартылай өткізгішті газ сүзгілерінің жалпы түрлері қандай?

Жартылай өткізгіштерді өндіруде газ сүзгілерінің бірнеше түрі қолданылады, олардың әрқайсысы жоюға арналған

ластаушы заттардың ерекше түрлері.

Ең көп таралған түрлеріне мыналар жатады:

1. Бөлшек сүзгілері:

Бұл сүзгілер газ ағындарынан шаң, талшықтар және металл бөлшектері сияқты қатты бөлшектерді жояды.

Олар әдетте күйдірілген металл, керамика немесе мембраналық сүзгілер сияқты материалдардан жасалады.

2. Химиялық сүзгілер:

Бұл сүзгілер су буы, көмірсутектер және коррозиялық газдар сияқты химиялық қоспаларды жояды.

Олар көбінесе белсендірілген көмір сияқты материалдарды пайдаланып, адсорбция немесе сіңіру принциптеріне негізделген

молекулалық електер немесе химиялық сорбенттер.

3. Аралас сүзгілер:

Бұл сүзгілер бөлшектердің және химиялық сүзгілердің екі түрін де жою үшін мүмкіндіктерін біріктіреді

ластаушы заттар. Олар көбінесе жоғары тазалық қажет болатын маңызды қолданбаларда қолданылады.

 

Жиі қойылатын сұрақтар 3:

Жартылай өткізгішті газ сүзгілері қалай таңдалады және жобаланады?

Жартылай өткізгішті газ сүзгілерін таңдау және жобалау бірнеше факторларды қамтиды, соның ішінде:

* Газдың тазалығына қойылатын талаптар:

Нақты газ ағыны үшін қажетті тазалық деңгейі сүзгінің сүзу тиімділігі мен сыйымдылығын анықтайды.

* Ағын жылдамдығы және қысым:

Сүзілетін газдың көлемі және жұмыс қысымы сүзгінің өлшеміне, материалына және конфигурациясына әсер етеді.

* Ластаушы түрі және концентрациясы:

Газ ағынында болатын ластаушы заттардың нақты түрлері сүзгі ортасын таңдауды және оның кеуек өлшемін белгілейді.

*Температура және ылғалдылық:

Жұмыс жағдайлары сүзгінің өнімділігіне және қызмет ету мерзіміне әсер етуі мүмкін.

* Құны және техникалық қызмет көрсету:

Сүзгінің бастапқы құнын және оның ағымдағы техникалық қызмет көрсету талаптарын ескеру қажет.

Осы факторларды мұқият қарастыра отырып, инженерлер арнайы талаптарға сәйкес келетін газ сүзгілерін таңдап, жобалай алады

жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің қажеттіліктері.

 

Жартылай өткізгіштер өндірісінде газ сүзгілерін қаншалықты жиі ауыстыру керек?

Жартылай өткізгіштер өндірісінде газ сүзгілерін ауыстыру жиілігі бірнеше факторларға, соның ішінде түріне байланысты

процесс, ластаушы заттардың деңгейі және қолданылатын сүзгінің нақты түрі. Әдетте, газ сүзгілері тұрақты түрде ауыстырылады

кез келген ластану қаупін болдырмау үшін техникалық қызмет көрсету кестесі,жиі 6-12 ай сайын, пайдалану шарттарына байланысты

және сүзгі өндірушісінің ұсыныстары.

 

Дегенмен, ауыстыру кестелері жұмыс ортасына байланысты кеңінен өзгеруі мүмкін. Мысалы:

*Жоғары ластаушы процестер:

Сүзгілер жоғары деңгейде болса, оларды жиі ауыстыру қажет болуы мүмкін

бөлшектер немесе молекулалық ластану.

*Критикалық қолданбалар:

Өте жоғары тазалықты талап ететін процестерде (мысалы, фотолитография) сүзгілер жиі ауыстырылады

газдың сапасы бұзылмауын қамтамасыз ету үшін алдын ала.

 

Сүзгідегі дифференциалды қысымды бақылау сүзгіні қашан ауыстыру керектігін анықтаудың кең таралған әдісі болып табылады.

Ластаушы заттардың жиналуымен сүзгідегі қысымның төмендеуі артады, бұл тиімділіктің төмендеуін көрсетеді.

Сүзгілерді олардың тиімділігі төмендемей тұрып ауыстыру өте маңызды, өйткені газ тазалығының кез келген бұзылуы елеулі ақауларды тудыруы мүмкін,

шығымдылықты төмендетеді, тіпті жабдықтың бұзылуына әкеледі.

 

 

Жартылай өткізгішті қолдану үшін газ сүзгілері қандай материалдардан жасалған?

Жартылай өткізгішті қолдануда қолданылатын газ сүзгілері ең жоғары тазалық стандарттарын сақтай алатын материалдардан жасалған

және өндірісте кездесетін қатал орталарға төтеп береді. Жалпы материалдарға мыналар жатады:

*Тот баспайтын болат (316л): Химиялық төзімділігіне, механикалық беріктігіне байланысты ең көп қолданылатын материал және

агломерация технологиясын пайдалана отырып, нақты кеуек өлшемдерімен дайындау мүмкіндігі. Ол екі реактивті сүзуге жарамды

және инертті газдар.

*PTFE (политетрафторэтилен): PTFE - жоғары реактивті немесе коррозиялық сүзу үшін қолданылатын химиялық инертті материал

газдар. Ол тамаша химиялық үйлесімділік пен гидрофобты қасиеттерге ие, бұл оны ылғалға сезімталдық үшін өте қолайлы етеді

процестер.

*Никель және Хастелой:

Бұл материалдар жоғары температураны қолдану үшін немесе агрессивті химиялық заттарды қамтитын процестер үшін қолданылады

тот баспайтын болат тозуы мүмкін жерде.

* Керамика:

Керамикалық сүзгілер экстремалды температураға төзімділік қажет қолданбалар үшін немесе субмикрон үшін қолданылады

бөлшектерді сүзу.

Материалды таңдау газдың түріне, реактивті түрлердің болуына, температураға және

процестің басқа параметрлері. Материалдар ешқандай қоспалар енгізбеу үшін реакцияға түспейтін болуы керек

немесе бөлшектерді процеске енгізеді, осылайша жартылай өткізгіштерді өндіруге қажетті газ тазалығы деңгейін сақтайды.

 

 

Жартылай өткізгіштерді өндіруде пайдалану нүктесі (POU) сүзгілерінің рөлі қандай?

Қолдану нүктесі (POU) сүзгілері жартылай өткізгіштерді өндіруде өте маңызды, өйткені олар газдарды тазалау алдында бірден тазартуды қамтамасыз етеді.

процесс құралдарын енгізу. Бұл сүзгілер газ ағынына түсуі мүмкін ластаушы заттардың соңғы қорғанысын қамтамасыз етеді

сақтау, тасымалдау немесе тарату кезінде, осылайша процестің тұрақтылығы мен өнім сапасын арттырады.

POU сүзгілерінің негізгі артықшылықтары:

* Ластанудың пластинаға жетуіне жол бермеу үшін маңызды жабдыққа (мысалы, ою немесе тұндыру камералары) жақын орналастырыңыз.

*Газ өңдеу жүйесі немесе қоршаған ортаға әсер етуі мүмкін бөлшектерді де, молекулалық қоспаларды да кетіріңіз.

*Жабдықты қорғайтын және өндірілген құрылғылардың сапасын арттыра отырып, технологиялық құралға газдың мүмкін болатын ең жоғары сапасын қамтамасыз етіңіз.

*Процесс өзгермелілігін азайтыңыз, өнімділікті арттырыңыз және ақаулар деңгейін төмендетіңіз.

*Тіпті болмашы қоспалар өнімділік пен өнімнің сенімділігіне айтарлықтай әсер ететін жетілдірілген жартылай өткізгіш орталарда таптырмас.

 

 

 

Газ сүзгілері жартылай өткізгіш процестерде жабдықтың тоқтап қалуын қалай болдырмайды?

Газ сүзгілері технологиялық газдардың тұрақты түрде таза болуын қамтамасыз ете отырып, жартылай өткізгіш процестерде жабдықтың тоқтап қалуын болдырмайды.

өндірістік жабдыққа зақым келтіруі мүмкін ластаушы заттар. Жартылай өткізгішті өндіру жоғары пайдалануды қамтиды

сезімтал жабдық, оның ішінде тұндыру камералары, плазмалық ою машиналары және фотолитография жүйелері.

Шаң, ылғал немесе реактивті қоспалар сияқты ластаушы заттар бұл машиналарға кірсе, олар бірқатар проблемаларды тудыруы мүмкін,

клапандар мен саңылаулардың бітелуінен пластинаның беттерін немесе реактордың ішкі бөліктерін зақымдауға дейін.

 

Жоғары сапалы газ сүзгілерін пайдалана отырып, өндірушілер осы ластаушы заттардың енуіне жол бермейді, бұл ықтималдығын азайтады.

жоспардан тыс техникалық қызмет көрсету және жабдықтың бұзылуы. Бұл тұрақты өндіріс кестелерін сақтауға, азайтуға көмектеседі

қымбат тоқтап тұру және жөндеуге немесе ауыстыруға байланысты елеулі шығындарды болдырмау.

Бұған қоса, жақсы ұсталған сүзгілер ағын реттегіштері, клапандар және реакторлар сияқты негізгі компоненттердің қызмет ету мерзімін ұзартуға көмектеседі.

осылайша өндіріс процесінің жалпы тиімділігі мен табыстылығын арттырады.

 

Жартылай өткізгішті газ сүзгілері туралы кейбір мәліметтерді тексергеннен кейін, әлі де сұрақтарыңыз болса.

Жартылай өткізгішті өндіру процесін жоғары сапалы газ сүзу шешімдерімен оңтайландыруға дайынсыз ба?

Сарапшылық нұсқаулар мен қажеттіліктеріңізді қанағаттандыру үшін теңшелген шешімдер үшін бүгін HENGKO компаниясына хабарласыңыз.

 

Жартылай өткізгіш газ сүзгісі туралы кейбір мәліметтерді тексергеннен кейін, егер сізде көбірек сұрақтар туындаса?

Жартылай өткізгішті өндіру процесін жоғары сапалы газ сүзу шешімдерімен оңтайландыруға дайынсыз ба?

Сарапшылық нұсқаулар мен қажеттіліктеріңізді қанағаттандыру үшін теңшелген шешімдер үшін бүгін HENGKO компаниясына хабарласыңыз.

Бізге электрондық поштаны жіберіңізka@hengko.comқосымша ақпарат алу үшін.

Біздің команда сізге өндіріс тиімділігі мен өнім сапасын арттыруға көмектесу үшін осында.

 

 

 

Хабарламаңызды бізге жіберіңіз:

Хабарламаңызды осы жерге жазып, бізге жіберіңіз