Жартылай өткізгіш сүзгілер

Жартылай өткізгіш газ сүзгілері:

Чип жасауда мінсіз газ тазалығын қамтамасыз ету

Дәлдік пен тазалық ең басты орында тұрған жартылай өткізгіш өндірісінің күрделі әлемінде, сапасы

қолданылатын газдар процестің сәттілігін анықтауда маңызды рөл атқарады. Қоспалар, тіпті өте аз деңгейде болса да,

микрочиптердің нәзік тізбегіне зиян келтіріп, оларды ақаулы және пайдалануға жарамсыз етуі мүмкін. Қорғау үшін

Бұл маңызды процесте жартылай өткізгіш газ сүзгілері ластаушы заттарды мұқият кетіретін берік қорғаушылар ретінде қызмет етеді

және өндіріс желілері арқылы ағатын газдардың таза сапасын қамтамасыз ету.

Металл сүзгілерінің көптеген керемет мүмкіндіктері мен артықшылықтары бар

1. Заманауи таза бөлме ортасында жасалған

Бұл сүзгілер заманауи таза бөлмеде, кез келген ықтимал ластануды азайту үшін мінсіз жағдайлар мұқият сақталатын ортада дүниеге келеді. Олар тазартылған ауа атмосферасында дәл дәнекерлеуден бастап, қатаң өндіріс процесінен өтеді. Кейіннен деионизацияланған сумен шаю, содан кейін жоғары қысымды, сүзілген азотпен тазарту кез келген қалған бөлшектерді жояды және бөлшектердің төгілу қаупін азайтады.

2. Бөлшектерді жоюдың ерекше тиімділігі

SEMI F38 және ISO 12500 сынақ әдістерімен белгіленген қатаң стандарттарға сәйкес, 0,003 мкм бөлшектер үшін 9 LRV сүзу тиімділігімен бұл сүзгілер коррозиядан туындаған кез келген бөлшектерді және қозғалатын бөлшектерден пайда болған бөлшектерді тиімді түрде жояды, бұл газдардың тазалығын қамтамасыз етеді.

3. Жоғары механикалық беріктік

Жоғары газ қысымын жиі пайдаланатын күрделі өндірістік процестер мен орталарда ерекше төзімділікті қамтамасыз ету үшін мұқият сынақтан өткен бұл сүзгілер қызмет ету мерзімі ішінде мызғымас өнімділікті қамтамасыз етеді.

4. Ең жоғары салалық стандарттардан асып түсу

Жартылай өткізгіштерді өңдеуге қойылатын қатаң газды өңдеу сүзгілеу талаптарынан асып түсетін бұл сүзгілер жартылай өткізгіш өндірісіндегі газ жеткізу жүйелері талап ететін маңызды сүзгілеу тиімділігіне, дәл ағынды басқаруға және қауіпсіздік стандарттарына сәйкес келетініне кепілдік беру үшін қатаң сынақтан өтеді.

5. Қауіпсіздікке деген берік міндеттеме

Тұтанғыш, коррозиялық, улы және пирофорлық технологиялық газдардың әсерінен қорғау үшін сүзгі корпустары мұқият ағып кету сынағынан өтеді, бұл олардың 1x10-9 атм скуб/секундтан аз ағып кету жылдамдығына қол жеткізуін қамтамасыз етеді. Қауіпсіздікке деген бұл берік міндеттеме қауіпті газдардың шектелуін және зиян келтіруінің алдын алуды қамтамасыз етеді.

6. Чип жасаудағы шеберлік үшін ымырасыз тазалық

Бұл газ сүзгілері өздерінің ерекше сүзу мүмкіндіктері, қауіпсіздікке деген берік міндеттемесі және ең жоғары салалық стандарттарды сақтауы арқылы жартылай өткізгіш өндірісінің күрделі процесін қорғауда маңызды рөл атқарады. Олар тазалықтың қамқоршысы ретінде жұмыс істейді, өндіріс желілері арқылы тек ең таза газдардың өтуін қамтамасыз етеді, бұл біздің заманауи әлемімізді қуаттандыратын жоғары өнімді микрочиптерді жасауға жол ашады.

Жартылай өткізгіш сүзгілердің түрлері

Жартылай өткізгіш сүзгілер әртүрлі қолданбаларда қолданылады, соның ішінде:

* Электроника өндірісі:

Жартылай өткізгіш сүзгілер жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын аса таза судан, газдардан және химиялық заттардан бөлшектерді кетіру үшін қолданылады.

* Химиялық механикалық жазықтықтау (ХМЖ):

Жартылай өткізгіш сүзгілер жартылай өткізгіш пластиналарды жылтырату үшін қолданылатын CMP суспензияларынан бөлшектерді кетіру үшін қолданылады.

* Биомедициналық:

Жартылай өткізгіш сүзгілер медициналық диагностика мен емдеуде қолданылатын сұйықтықтардан бөлшектерді кетіру үшін қолданылады.

* Қоршаған орта:

Жартылай өткізгіш сүзгілер ауа мен судан бөлшектерді кетіру үшін қолданылады.

Жартылай өткізгіш сүзгілердің төрт негізгі түрі бар:

1. Мембраналық сүзгілер:

Мембраналық сүзгілер бөлшектерді ұстап тұру кезінде сұйықтықтардың өтуіне мүмкіндік беретін жұқа, кеуекті қабықшадан жасалған.

 

Жартылай өткізгіштерге арналған мембраналық сүзгілер

 

 

2. Тереңдік сүзгілері:

Тереңдік сүзгілері сүзгіден өткен кезде бөлшектерді ұстап қалатын қалың, иілгіш материал қабатынан жасалған.

 

Жартылай өткізгіштің тереңдік сүзгілері

 

 

3. Адсорбент сүзгілері:

Адсорбент сүзгілері бөлшектерді тартып, ұстап тұратын материалдан жасалған.

 

 Жартылай өткізгіштердің адсорбентті сүзгілері

 

 

4. Металл сүзгілері

Сұйытылған металл сүзгілеріжартылай өткізгіш өндірісінде жиі қолданылатын тереңдік сүзгісінің бір түрі. Олар ұсақ металл ұнтағын кеуекті құрылымға айналдыру арқылы жасалады. Бітелген металл сүзгілері жоғары беріктігімен, жоғары сүзу тиімділігімен және жоғары температура мен қысымға төтеп беру қабілетімен танымал.

Жартылай өткізгіштер өндірісіне арналған күйдірілген металл сүзгілерінің артықшылықтары:

* Жоғары беріктік:

Металл сүзгілері өте берік және жоғары температура, қысым және коррозиялық химиялық заттар сияқты қатал жұмыс жағдайларына төтеп бере алады.

 

* Жоғары сүзу тиімділігі:

Металл сүзгілері нәзік жартылай өткізгіш компоненттерді ластанудан қорғау үшін өте маңызды болып табылатын 0,01 микронға дейінгі бөлшектерді кетіре алады.

* Ұзақ қызмет ету мерзімі:

Металл сүзгілері ұзақ қызмет ету мерзіміне ие және оларды оңай тазалап, қайта пайдалануға болады.

* Химиялық үйлесімділік:

Металл сүзгілері әртүрлі химиялық заттармен үйлесімді, бұл оларды әртүрлі жартылай өткізгіш өндіріс процестерінде қолдануға жарамды етеді.

Жартылай жартылай өткізгіш өндірісте күйдірілген металл сүзгілерін қолдану:

* Газды тазарту:

Жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын азот, сутегі және оттегі сияқты газдарды тазарту үшін металл сүзгілері қолданылады.

* Химиялық сүзу:

Қышқылдар, негіздер және еріткіштер сияқты жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын химиялық заттарды сүзу үшін металл сүзгілері қолданылады.

* Өте таза су сүзгісі:

Жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын аса таза суды сүзу үшін күйдірілген металл сүзгілері қолданылады.

* CMP суспензиясын сүзу:

Жартылай өткізгіш пластиналарды жылтырату үшін қолданылатын CMP суспензияларын сүзу үшін күйдірілген металл сүзгілері қолданылады.

Металл сүзгілері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің маңызды бөлігі болып табылады, бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғылардың өндірісін қамтамасыз етуге көмектеседі.

 

Белгілі бір қолданбада қолданылатын жартылай өткізгіш сүзгінің түрі алынып тасталатын бөлшектердің мөлшеріне, сүзілетін сұйықтық түріне және қажетті сүзу деңгейіне байланысты.

Жартылай өткізгіш сүзгілердің әртүрлі түрлерін қысқаша сипаттайтын кесте:

Сүзгі түрі	Сипаттама	Қолданбалар	Сурет
Мембраналық сүзгілер	Бөлшектерді ұстап тұру кезінде сұйықтықтардың өтуіне мүмкіндік беретін жұқа, кеуекті пленкадан жасалған.	Электроника өндірісі, CMP, биомедициналық, қоршаған ортаны қорғау	Жартылай өткізгіштерге арналған мембраналық сүзгілер
Тереңдік сүзгілері	Сүзгіден өткен кезде бөлшектерді ұстап қалатын қалың, ирелеңдеген материал қабатынан жасалған.	CMP, биомедициналық, қоршаған ортаны қорғау	Жартылай өткізгіштің тереңдік сүзгілері
Адсорбенттік сүзгілер	Бөлшектерді тартып, ұстап тұратын материалдан жасалған.	Электроника өндірісі, CMP, биомедициналық, қоршаған ортаны қорғау	Жартылай өткізгіштердің адсорбентті сүзгілері
Сұйытылған металл сүзгілері	Ұсақ металл ұнтағын кеуекті құрылымға айналдыру арқылы жасалған.	Газды тазарту, химиялық сүзу, аса таза суды сүзу, CMP шламын сүзу	Жаңа терезеде ашыладыwww.hengko.com Жартылай өткізгішті күйдірілген металл сүзгілері

Қолданба

Металл жартылай өткізгіш газ сүзгілері жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбаларда кеңінен қолданылады. Олардың жоғары сүзу тиімділігі, беріктігі және жоғары температура мен қысымға төтеп беру қабілеті сияқты бірегей қасиеттері оларды жартылай өткізгіш өндірісіндегі газ жеткізу жүйелерінің маңызды құрамдас бөлігі етеді.

Міне, күйдірілген металл жартылай өткізгіш газ сүзгілерінің кейбір нақты қолданылу аясы:

1. Вафли өндірісі:

Плита өндірісінде қолданылатын азот, сутегі және оттегі сияқты газдарды тазарту үшін күйдірілген металл сүзгілері қолданылады. Бұл газдар эпитаксиалды өсу, ою және легирлеу сияқты процестер үшін өте маңызды.

2. Химиялық сүзу:

Металл сүзгілері жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын химиялық заттарды, мысалы, қышқылдарды, негіздер мен еріткіштерді сүзу үшін қолданылады. Бұл химиялық заттар тазалау, өңдеу және жылтырату сияқты әртүрлі мақсаттарда қолданылады.

3. Өте таза суды сүзу:

Жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын аса таза суды (UPW) сүзу үшін күйдірілген металл сүзгілері қолданылады. UPW пластиналарды тазалау және шаю, сондай-ақ химиялық заттарды дайындау үшін өте маңызды.

4. CMP суспензиясын сүзу:

Жартылай өткізгіш пластиналарды жылтырату үшін қолданылатын CMP суспензияларын сүзу үшін күйдірілген металл сүзгілері қолданылады. CMP микрочиптерді жасаудағы маңызды процесс болып табылады.

5. Қолдану нүктесіндегі сүзгілеу (ҚТС):

ПОУ сүзгілері көбінесе ең жоғары сүзгілеу деңгейін қамтамасыз ету үшін тікелей пайдалану орнына орнатылатын POU сүзгілері ретінде қолданылады. ПОУ сүзгілері әсіресе газдың тазалығы маңызды болатын қолданбалар үшін, мысалы, микропроцессорлар мен басқа да жоғары өнімді құрылғыларды өндіруде маңызды.

6. Жоғары тазалықтағы газды өңдеу:

Жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын газдардан ластаушы заттарды кетіру үшін жоғары тазалықтағы газ өңдеу жүйелерінде күйдірілген металл сүзгілері қолданылады. Бұл ластаушы заттарға бөлшектер, ылғал және органикалық қосылыстар кіруі мүмкін.

7. Микроэлектроника өндірісі:

Металл сүзгілері компьютерлер, планшеттер, ұялы телефондар, IoT сенсорлары және басқару құрылғылары сияқты микроэлектроника өндірісінде қолданылады.

8. Микроэлектромеханикалық жүйелер (MEMS) сүзгілеу:

Металл сүзгілері MEMS сүзгілеуінде қолданылады, бұл микроэлектромеханикалық жүйелерден ластаушы заттарды кетіру процесі. MEMS сенсорларды, жетектер мен түрлендіргіштерді қоса алғанда, әртүрлі қолданбаларда қолданылады.

9. Деректерді сақтау құрылғысын сүзу:

Деректерді сақтау құрылғыларын сүзуде ыдырайтын металл сүзгілер қолданылады, бұл қатты дискілер мен қатты күйдегі дискілер сияқты деректерді сақтау құрылғыларынан ластаушы заттарды кетіру процесі.

Осы нақты қолданыстардан басқа, жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі басқа да көптеген қолданыстарда пісірілген металл жартылай өткізгіш газ сүзгілері де қолданылады. Олардың әмбебаптығы мен сенімділігі оларды жартылай өткізгіш өндірушілер үшін маңызды құрал етеді.

Жоғары сапалы металл жартылай өткізгіш газ сүзгілерін іздеп жүрсіз бе?

HENGKO - жартылай өткізгіш өндіріс жүйелеріндегі OEM шешімдері үшін сіздің басты серіктесіңіз.

Біздің дәлдікпен жасалған сүзгілеріміз сіздің процестеріңіздің сенімділігі мен тиімділігін қамтамасыз етеді, сізге бәсекеге қабілетті нарықта артықшылық ұсынады.

Неліктен HENGKO сүзгілерін таңдау керек?

* Жоғары сапа және беріктік

* Сіздің нақты қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін жекелендірілген шешімдер

* Жартылай жартылай өткізгіш өндіріс үшін жақсартылған өнімділік

Сүзу қиындықтарының өндірісіңізді тежеуіне жол бермеңіз.

Біздің металл сүзгілеріміздің өндіріс жүйеңізді қалай түбегейлі өзгерте алатынын білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Бізбен хабарласыңызka@hengko.com

HENGKO-мен серіктес болыңыз және жартылай өткізгіштер өндірісінде үздік нәтижеге қарай қадам жасаңыз!