Жартылай өткізгіш газ жеткізу жүйелеріне арналған жоғары өнімді IGS беттік бекіткіш C тығыздағыш сүзгілері

Қысқаша сипаттама:

Бренд:ХЕНГКО

Сүзгі атауы:IGS беткі қабатына бекітілетін C-тығыздағыш сүзгісі

Материал:SS 316L

Ағын жылдамдығы:10 ~ 120 SLPM

Максималды жұмыс температурасы:460°C

Бөлшектерді кетіру мөлшері:> 0,003 мкм

Бізге электрондық пошта жіберіңіз Ішкі санаттарға оралу

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

HENGKO беттік бекіткіш сүзгілері жартылай өткізгіш OEM құралдарында қолданылатын интеграцияланған газ жүйелерінің талапты талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған. 0,003 мкм деңгейінде салалық жетекші сүзгіні ұсынатын бұл сүзгілер 120 slpm кезінде ≥99,9999999% (9-LRV) бөлшектерді ұстап қалу тиімділігімен ерекше өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.

Сүзгі элементі мен корпусы үшін күйдірілген берік 316L тот баспайтын болат ұнтағынан жасалған бұл сүзгілер SEMI F86-0304 сипаттамаларына сәйкес келеді, олар C-тығыздағыш конфигурациясы бар 1,125 дюймдік газ тарату жүйелеріне арналған екі портты компоненттерді қамтиды. Олар 100°C температурада 3,4 МПа максималды кіріс қысымын және 100°C температурада 0,69 МПа максималды жұмыс қысымының айырмашылығын қолдайды.

Бұл мамандандырылған сүзгілер C типті және W типті тығыздағыш сипаттамаларымен үйлесімді, бөлшектердің бөлінуімен ағынды тазалыққа қол жеткізеді

Ra беткі қабатыменСыртқы жағынан < 1,6 мкм және RaІшкі жағында < 0,13 мкм, олар 460°C дейінгі жоғары температураға төтеп беруге арналған. Оңай интеграциялау және модульдік дизайнды жаңарту үшін жасалған бұл сүзгілер орнатуды және техникалық қызмет көрсетуді жеңілдетеді, жартылай өткізгіш газ жеткізу және басқару қолданбаларында жүйенің жұмысын оңтайландыруға көмектеседі.

Өнімнің ерекшелігі

▶ Жалпы 316L тот баспайтын болаттан жасалған конструкция
▶ Миниатюралық дизайн, ықшам құрылым, кеңістікті үнемдеу
▶ Газды алмастыру және десорбциялаудың тамаша сипаттамалары
▶ Жоғары температураға, жоғары қысымға және коррозияға төзімді
▶ Электрлік жылтыратылған 316L тот баспайтын болаттан жасалған корпус
▶ Орнату және техникалық қызмет көрсету оңай және тиімді
▶ Механикалық тығыздау, құрылымдық жағынан ортаға дәнекерленбеген

Жартылай өткізгіш газ жеткізу жүйелеріне арналған жоғары өнімді IGS беттік бекіткіш C тығыздағыш сүзгілері

Деректер парағы

Техникалық параметрлер	Құндылықтар
Сүзгі элементінің материалы	316L тот баспайтын болаттан жасалған күйдірілген ұнтақ
Корпус материалы	316L тот баспайтын болат
Максималды кіріс қысымы	100°C температурада 3,4 МПа
Максималды жұмыс дифференциалы	100°C температурада 0,69 МПа
Гелийдің ағып кету жылдамдығын тексеру	1x10⁻¹¹ куб/мин
Гелий сынағының ағып кету жылдамдығы	1x10⁻⁹ куб.см/мин
Беттік өңдеу	Сыртқы беті Ra< 1,6 мкм
	Ішкі беті Ra< 0,13 мкм
Максималды жұмыс температурасы	460°C
Бөлшектерді ұстап алу тиімділігі	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (анықтамалық MPPS, барлық бөлшектер)
Ағынның төменгі жағындағы тазалық	Бөлшектердің бөлінуі:< 0,03 бөлшектер/литр (< 1 бөлшек/фут³)
	Ұшқыш заттар:< 10 ppb ылғалдылық
Бөлшектерді ұстап қалу өлшемі	≥0,003 мкм
Ағын диапазоны	0 ~ 120 slpm

Өлшемі

Беткі бекіткіш сүзгілердің өлшемі

Міне, тапсырыс бере алатын бөлшек нөмірі және өлшемі туралы мәліметтер:

Өнім моделі	Ағын жылдамдығы	Биіктігі (мм)	Сүзу дәлдігі	Тазалау деңгейі
Z01B-00637	10 минуттық сплм	51.6	0,003 мкм	C
Z01B-00638	40 slpm	82.9	0,003 мкм	C
Z01B-00687	80 slpm	126.2	0,003 мкм	C
Z01B-00688	120 slpm	167.9	0,003 мкм	C

Әдеттегі қолданбалар

W-тәрізді тығыздағышпен және C-тәрізді тығыздағышпен, 1,125 дюйм және 1,5 дюймдік беткі бекітпелі модульдік газ жеткізу жүйелерімен пайдалануға арналған.