Жартылай өткізгішті таза бөлмеге арналған температура мен ылғалдылық сенсоры Температура ылғалдылығын бақылау схемасы
Өнім көрмесі
Температуражәнетаза кеңістіктің ылғалдылығы негізінен технологиялық талаптарға сәйкес анықталады, бірақ технологиялық талаптарды қанағаттандыру жағдайында жайлылық сезімін ескеру қажет.Ауа тазалығына қойылатын талаптардың жақсаруымен температура мен ылғалдылыққа қатаң талаптар қою үрдісі байқалды.
Өңдеу дәлдігі барған сайын жақсы болғандықтан, температураның ауытқу диапазоны аз және аз.Мысалы, кең ауқымды интегралды схема өндірісінің литографиялық экспозиция процесінде маска материалы ретінде шыны мен кремний пластинасы арасындағы термиялық кеңею коэффициентінің айырмашылығы кішірек және кішірек болуы талап етіледі.Диаметрі 100 um кремний пластинасы, температураның 1 градусқа көтерілуі 0,24um сызықтық кеңеюді тудырады, сондықтан ± 0,1 градус температура болуы керек, сонымен бірге ылғалдылық мәні әдетте төмен, өйткені адамдар терлейді, өнім ластануы болады, әсіресе натрий жартылай өткізгіш цехынан қорқады, бұл цех 25 градустан аспауы керек.
Жоғары ылғалдылық қосымша проблемаларды тудырады.Салыстырмалы ылғалдылық 55% асқан кезде салқындатқыш су құбырының қабырғасында шық пайда болады, бұл дәл құрылғыларда немесе тізбектерде орын алса, әртүрлі апаттарға әкеледі.Салыстырмалы ылғалдылық 50% болғанда, тот басуға оңай.Сонымен қатар, ылғалдылық тым жоғары болғанда, кремний чипінің бетіне жабысып қалған шаң жойылуға қарсы тұру үшін бетіне химиялық жолмен адсорбцияланады.Салыстырмалы ылғалдылық неғұрлым жоғары болса, адгезияны жою қиын, бірақ салыстырмалы ылғалдылық 30% -дан төмен болғанда, электростатикалық күштің әсерінен бөлшектер бетіне оңай адсорбцияланады, ал жартылай өткізгіш құрылғылардың көп саны. бұзылуға бейім.Вафельді өндіру үшін оңтайлы температура диапазоны 35-45% құрайды.
Сондықтан температура мен ылғалдылықты бақылау өте маңызды, HENGKO сізге бірқатар мүмкіндіктерді бере аладытемпература мен ылғалдылық таратқышты өңдеу шешімдері!
Жартылай өткізгішті таза бөлмеге арналған температура мен ылғалдылық сенсоры Температура ылғалдылығын бақылау схемасы
Сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін өнімді таба алмайсыз ба?үшін біздің сату қызметкерлеріне хабарласыңызOEM/ODM теңшеу қызметтері! 
