Жартылай өткізгішті газ сүзгілері:
Чип жасауда газдың мінсіз тазалығын қамтамасыз ету
Дәлдік пен тазалық басты орын алатын жартылай өткізгіштерді өндірудің күрделі әлемінде
қолданылатын газдар процестің сәттілігін анықтауда маңызды рөл атқарады. Қоспалар, тіпті шексіз аз деңгейде,
микрочиптердің нәзік тізбегіне зиянын тигізіп, оларды ақаулы және жарамсыз етеді. Қорғау үшін
Бұл маңызды процесте жартылай өткізгіш газ сүзгілері ластаушы заттарды мұқият жоя отырып, берік қорғаушы ретінде тұрады.
және өндірістік желілер арқылы өтетін газдардың таза сапасын қамтамасыз ету.
Агломерленген металл сүзгілердің көптеген тамаша мүмкіндіктері мен артықшылықтары бар
1. Ең заманауи таза бөлме ортасында жасалған
Бұл сүзгілер кез келген ықтимал ластануды азайту үшін мінсіз жағдайлар мұқият сақталатын заманауи таза бөлмеде дүниеге келеді. Олар тазартылған ауа атмосферасында дәл дәнекерлеуден бастап, қатаң өндіріс процесінен өтеді. Кейінгі деионизацияланған суды жуу, содан кейін жоғары қысымды, сүзілген азотты тазарту кез келген ұзаққа созылған бөлшектерді жояды және бөлшектердің төгілу қаупін азайтады.
2. Бөлшектерді жоюдың ерекше тиімділігі
SEMI F38 және ISO 12500 сынақ әдістерімен белгіленген қатаң стандарттарды сақтай отырып, 0,003 мкм бөлшектер үшін 9 LRV тамаша сүзу тиімділігімен бұл сүзгілер жылжымалы бөліктерден пайда болған кез келген коррозиядан туындаған бөлшектер мен бөлшектерді тиімді түрде жояды, бұл олардың таза тазалығын қамтамасыз етеді. газдар.
3. Жоғары механикалық беріктік
Жоғары газ қысымын жиі пайдаланатын талап етілетін өндірістік процестерде және орталарда ерекше төзімділікке кепілдік беру үшін қатаң сынақтан өткен бұл сүзгілер қызмет ету мерзімі бойы үздіксіз өнімділікті қамтамасыз етеді.
4. Ең жоғары салалық стандарттардан асып түсу
Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған газды өңдеуге қатысты қатаң сүзгілеу талаптарын асыра отырып, бұл сүзгілер жартылай өткізгіштерді өндіруде газ жеткізу жүйелері талап ететін маңызды сүзу тиімділігіне, ағынды дәл бақылауға және қауіпсіздік стандарттарына сәйкес келетіндігіне кепілдік беру үшін қатаң сынақтан өтеді.
5. Қауіпсіздікке деген мызғымас міндеттеме
Тұтанғыш, коррозиялық, улы және пирофорлық технологиялық газдардың әсерінен қорғау үшін сүзгі корпустары 1x10-9 атм скк/секундтан төмен ағып кету жылдамдығына қол жеткізу үшін мұқият ағып кетуді сынаудан өтеді. Қауіпсіздікке деген бұлжымас міндеттеме қауіпті газдардың сақталуын және зиян келтірудің алдын алуды қамтамасыз етеді.
6. Чип жасаудың тамашалығы үшін ымырасыз тазалық
Бұл газ сүзгілері өздерінің ерекше сүзу мүмкіндіктері, қауіпсіздікке деген мызғымас адалдығы және ең жоғары салалық стандарттарды ұстануы арқылы жартылай өткізгіштерді өндірудің күрделі процесін қорғауда шешуші рөл атқарады. Олар тазалықтың сақшылары болып, өндіріс желілері арқылы тек таза газдардың ағып кетуін қамтамасыз етіп, заманауи әлемді қуаттандыратын жоғары өнімді микрочиптерді жасауға жол ашады.
Жартылай өткізгіш сүзгілердің түрлері
Жартылай өткізгіш сүзгілер әртүрлі қолданбаларда қолданылады, соның ішінде:
* Электроника өндірісі:
Жартылай өткізгіш сүзгілер жартылай өткізгіштерді өндіруде қолданылатын өте таза судан, газдардан және химиялық заттардан бөлшектерді жою үшін қолданылады.
* Химиялық механикалық планаризация (CMP):
Жартылай өткізгішті сүзгілер жартылай өткізгіш пластиналарды жылтырату үшін қолданылатын CMP суспензияларынан бөлшектерді жою үшін қолданылады.
* биомедициналық:
Жартылай өткізгіш сүзгілер медициналық диагностика мен емдеуде қолданылатын сұйықтықтардан бөлшектерді жою үшін қолданылады.
* Экологиялық:
Жартылай өткізгіш сүзгілер ауа мен судан бөлшектерді тазарту үшін қолданылады.
Жартылай өткізгіш сүзгілердің төрт негізгі түрі бар:
1. Мембраналық сүзгілер:
Мембраналық сүзгілер бөлшектерді ұстау кезінде сұйықтықтың өтуіне мүмкіндік беретін жұқа, кеуекті пленкадан жасалған.
2. Тереңдік сүзгілері:
Тереңдік сүзгілері сүзгі арқылы ағып жатқан бөлшектерді ұстап тұратын қалың, бұралмалы материалдан жасалған.
3. Адсорбент сүзгілері:
Адсорбент сүзгілері бөлшектерді тартатын және ұстайтын материалдан жасалған.
4. Агломерленген металл сүзгілері
Агломерленген металл сүзгілері жартылай өткізгіш өндірісінде жиі қолданылатын тереңдік сүзгісінің бір түрі болып табылады. Олар ұсақ металл ұнтағын кеуекті құрылымға біріктіру арқылы жасалады. Агломерленген металл сүзгілері жоғары беріктігімен, жоғары сүзу тиімділігімен және жоғары температура мен қысымға төтеп беру қабілетімен танымал.
Жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған агломерленген металл сүзгілерінің артықшылықтары:
* Жоғары төзімділік:
* Жоғары сүзу тиімділігі:
* Ұзақ қызмет ету мерзімі:
* Химиялық үйлесімділік:
Жартылай өткізгіштер өндірісінде агломерленген металл сүзгілерін қолдану:
* Газды тазарту:
Агломерленген металл сүзгілері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің маңызды бөлігі болып табылады, бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруді қамтамасыз етуге көмектеседі.
Белгілі бір қолданбада қолданылатын жартылай өткізгіш сүзгі түрі жойылатын бөлшектердің өлшеміне, сүзілетін сұйықтық түріне және сүзудің қажетті деңгейіне байланысты.
Мұнда жартылай өткізгіш сүзгілердің әртүрлі түрлерін қорытындылайтын кесте берілген:
Сүзгі түрі | Сипаттама | Қолданбалар | Сурет |
---|---|---|---|
Мембраналық сүзгілер | Бөлшектерді ұстау кезінде сұйықтықтың өтуіне мүмкіндік беретін жұқа, кеуекті пленкадан жасалған. | Электроника өндірісі, CMP, биомедициналық, экологиялық | |
Тереңдік сүзгілері | Сүзгі арқылы ағып жатқан бөлшектерді ұстап тұратын қалың, бұралмалы материалдан жасалған. | CMP, биомедициналық, экологиялық | |
Адсорбент сүзгілері | Бөлшектерді тартатын және ұстайтын материалдан жасалған. | Электроника өндірісі, CMP, биомедициналық, экологиялық | |
Агломерленген металл сүзгілері | Ұсақ металл ұнтағын кеуекті құрылымға біріктіру арқылы жасалған. | Газды тазарту, химиялық сүзу, ультра таза суды сүзу, CMP суспензиясын сүзу | Жартылай өткізгіштерге арналған агломерленген металл сүзгілері |
Қолданба
Агломерленген металл жартылай өткізгішті газ сүзгілері жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде әртүрлі қолданбаларда кеңінен қолданылады. Олардың жоғары сүзу тиімділігі, беріктігі және жоғары температура мен қысымға төтеп беру қабілеті сияқты бірегей қасиеттері оларды жартылай өткізгіш өндірісіндегі газ жеткізу жүйелерінің маңызды құрамдас бөлігі етеді.
Мұнда агломерленген металл жартылай өткізгіш газ сүзгілерінің кейбір арнайы қолданбалары берілген:
1. Вафельді өндіру:
Агломерацияланған металл сүзгілері вафли өндірісінде қолданылатын азот, сутегі және оттегі сияқты газдарды тазарту үшін қолданылады. Бұл газдар эпитаксиалды өсу, ою және допинг сияқты процестер үшін өте маңызды.
2. Химиялық фильтрация:
Агломерленген металл сүзгілері қышқылдар, негіздер және еріткіштер сияқты жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын химиялық заттарды сүзу үшін қолданылады. Бұл химиялық заттар әртүрлі мақсаттарда қолданылады, соның ішінде тазалау, ою және жылтырату.
3. Өте таза суды сүзу:
Агломерленген металл сүзгілер жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын ультра таза суды (UPW) сүзу үшін қолданылады. UPW пластиналарды тазалау және шаю, сондай-ақ химиялық заттарды дайындау үшін өте қажет.
4. CMP суспензиясын сүзу:
Агломерленген металл сүзгілер жартылай өткізгіш пластиналарды жылтырату үшін қолданылатын CMP суспензияларын сүзу үшін қолданылады. CMP - микрочиптерді жасаудағы маңызды процесс.
5. Қолдану нүктесінде (POU) сүзу:
Агломерацияланған металл сүзгілері POU сүзгілері ретінде жиі пайдаланылады, олар сүзудің ең жоғары деңгейін қамтамасыз ету үшін тікелей пайдалану орнында орнатылады. POU сүзгілері микропроцессорлар мен басқа да өнімділігі жоғары құрылғыларды өндіру сияқты газдың тазалығы өте маңызды болатын қолданбалар үшін өте маңызды.
6. Тазалығы жоғары газды өңдеу:
Агломерленген металл сүзгілері жартылай өткізгіш өндірісінде қолданылатын газдардан ластаушы заттарды кетіру үшін жоғары таза газды өңдеу жүйелерінде қолданылады. Бұл ластаушыларға бөлшектер, ылғал және органикалық қосылыстар кіруі мүмкін.
7. Микроэлектроника өндірісі:
Агломерленген металл сүзгілері компьютерлер, планшеттер, ұялы телефондар, IoT сенсорлары және басқару құрылғылары сияқты микроэлектроника өндірісінде қолданылады.
8. Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭЖ) сүзу:
Агломерациялық металл сүзгілері MEMS фильтрациясында қолданылады, бұл микроэлектромеханикалық жүйелерден ластаушы заттарды кетіру процесі. MEMS сенсорлар, жетектер және түрлендіргіштерді қоса алғанда, әртүрлі қолданбаларда қолданылады.
9. Деректерді сақтау құрылғысын сүзу:
Синтерленген металл сүзгілері деректерді сақтау құрылғысын сүзуде қолданылады, бұл қатты дискілер мен қатты күйдегі дискілер сияқты деректерді сақтау құрылғыларынан ластаушы заттарды жою процесі.
Осы арнайы қолданбалардан басқа, агломерленген металл жартылай өткізгішті газ сүзгілері жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде әртүрлі басқа қолданбаларда да қолданылады. Олардың әмбебаптығы мен сенімділігі оларды жартылай өткізгіш өндірушілер үшін маңызды құрал етеді.
Жоғары сапалы агломерленген металл жартылай өткізгіш газ сүзгілерін іздеп жүрсіз бе?
HENGKO - жартылай өткізгіштерді өндіру жүйелеріндегі OEM шешімдері бойынша сіздің негізгі серіктесіңіз.
Біздің дәлдікпен жасалған сүзгілер процестеріңіздің сенімділігі мен тиімділігін қамтамасыз етіп, бәсекеге қабілетті нарықта артықшылықты ұсынады.
Неліктен HENGKO сүзгілерін таңдау керек?
* Жоғары сапа және беріктік
* Арнайы қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін теңшелген шешімдер
* Жартылай өткізгіштерді өндіру үшін жақсартылған өнімділік
Фильтрация қиындықтарының өндірісіңізді тоқтатуына жол бермеңіз.
Біздің агломерацияланған металл сүзгілеріңіз өндіріс жүйеңізде төңкеріс жасай алатынын білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Бізбен байланысыңызka@hengko.com
HENGKO компаниясымен серіктес болыңыз және жартылай өткізгіштерді өндіруде жоғары деңгейге қадам жасаңыз!